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簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
產(chǎn)品分類
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一、等離子體介紹
1.1產(chǎn)品原理
通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
1.2行業(yè)應(yīng)用
二、產(chǎn)品介紹
2.1產(chǎn)品概述
半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)(Plasma cleaner)是國(guó)內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機(jī)”,一款擁有強(qiáng)大的“CPU”的大等離子清洗機(jī)。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開(kāi)關(guān)電路,擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式,通過(guò)ARM芯片強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)備數(shù)字化控制,客戶產(chǎn)線,可達(dá)到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控,使清洗效果更穩(wěn)定、更持久,抗干擾性能增強(qiáng),減低故障率,控制維護(hù)成本,提高產(chǎn)能,有效減低生產(chǎn)成本。
2.2產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
(1)軍工級(jí)硬件設(shè)計(jì),使用環(huán)境溫度范圍可達(dá)到-25℃-50℃,適應(yīng)不同的嚴(yán)苛場(chǎng)景,MTBF時(shí)間可達(dá)到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);
(2)數(shù)字化控制,顯示屏顯示,實(shí)時(shí)監(jiān)控,抗干擾強(qiáng);
(3)采用TI品牌的移相全橋軟開(kāi)關(guān)電路和PFC功率因素校正,相對(duì)模擬硬開(kāi)關(guān)電路效率可提高10%以上,響應(yīng)時(shí)間小于0.1s,抗干擾性強(qiáng);
(4)搭載ST品牌的ARM芯片,人機(jī)交互簡(jiǎn)單明了,強(qiáng)大的遠(yuǎn)程調(diào)試通訊功能,無(wú)縫對(duì)接任意的應(yīng)用場(chǎng)景,自主研發(fā)的軟件對(duì)實(shí)時(shí)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行智能判斷并協(xié)調(diào)工作,可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,穩(wěn)定無(wú)變化;
(5)支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口,強(qiáng)大的遠(yuǎn)程通信功能;
(6)具有6種檢測(cè)功能:氣壓檢測(cè)、主板溫度檢測(cè)、變壓器弧壓檢測(cè)、變壓器初級(jí)峰值電流檢測(cè),電網(wǎng)電流檢測(cè),噴槍轉(zhuǎn)速檢測(cè);
(7)具有十余種故障報(bào)警功能,故障排查定位時(shí)間縮短80%以上;
(8)等離子發(fā)生器同時(shí)支持射流噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅,一鍵設(shè)置,隨時(shí)變換;
(9)具有過(guò)溫防護(hù)、過(guò)載防護(hù)、短路、斷路、漏電防護(hù)、各種誤操作保護(hù)等防護(hù)功能。
2.3半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)結(jié)構(gòu)
結(jié)構(gòu):高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成。
?。ˋ)高壓數(shù)字電源發(fā)生器:
等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì),本產(chǎn)品采用中頻電源進(jìn)行激勵(lì),數(shù)字化控制方式,可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,保證功率的穩(wěn)定輸出,且輸出精度高,輸出功率不受氣壓波動(dòng),市網(wǎng)電壓波動(dòng),噴槍電極老化等影響。參數(shù)需根據(jù)樣品實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié),以便達(dá)到處理效果。
?。˙)等離子發(fā)生裝置噴槍:
等離子去膠機(jī)搭配高速旋轉(zhuǎn)噴槍:主要處理大面積、形狀較復(fù)雜的材料,處理面積范圍20-80mm,可與原有的生產(chǎn)流水線搭配,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
?。–)控制系統(tǒng):
控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機(jī)的運(yùn)行,以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
2.4產(chǎn)品規(guī)格
大氣等離子主機(jī) | |
設(shè)備尺寸 | L580*W480*H149mm |
重量 | 10KG |
需求電源 | 電源:?jiǎn)蜗郃C220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω |
等離子發(fā)生器規(guī)格 | |
電源功率 | 600-1000W可調(diào)(依據(jù)負(fù)載情況設(shè)定范圍) |
電源頻率 | 50/60Hz |
遠(yuǎn)程通信方式 | 支持485接口,232接口,并有模擬通信接口 |
控制方式 | 數(shù)字控制,可選本地控制與遠(yuǎn)程控制 |
等離子槍頭規(guī)格 | |
處理寬度 | 20-90mm |
槍頭尺寸 | L308*W76*H149mm |
重量 | 6.5KG |
槍頭可調(diào)節(jié)高度 | 5-15mm |
氣壓范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)0.2MPA,0.08~0.25MPA可調(diào) |
工藝氣體 | |
使用氣體 | CDA或者N2 |
檢測(cè)與報(bào)警 | |
檢測(cè) | 氣壓檢測(cè)、主板溫度檢測(cè)、變壓器弧壓檢測(cè)、變壓器初級(jí)峰值電流檢測(cè),電網(wǎng)電流檢測(cè),噴槍轉(zhuǎn)速檢測(cè) |
報(bào)警 | 具備轉(zhuǎn)速、溫度、電壓、氣壓、過(guò)載、漏電、功率不匹配、短路、開(kāi)路、過(guò)流等保護(hù)功能 |
設(shè)備尺寸圖紙
2.5.1槍頭尺寸圖
2.5
2.5.2電源尺寸圖
三、規(guī)格要求
3.1 廠務(wù)規(guī)格要求
廠務(wù)規(guī)格要求 | |
需求電源 | 電源:?jiǎn)蜗郃C220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω |
廠務(wù)排氣 | 流 量 :5m³/min 材質(zhì):耐腐蝕材質(zhì) |
廠務(wù)壓縮空氣要求 | 管徑:8mm 材質(zhì):PU 管 壓力:0.4-0.6MPa 氣源質(zhì)量應(yīng)該滿足:固體顆粒粒徑<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³,壓力露點(diǎn)-40°C以下 |
3.2
配置清單 | ||||
序號(hào) | 名稱 | 型號(hào)和規(guī)格 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | 主機(jī)發(fā)生器 | SPA-5800 | 1 | 臺(tái) |
2 | 常規(guī)槍頭 | 按客戶要求配備 | 1 | 臺(tái) |
3 | 普通噴嘴 | 按客戶要求配備 | 1 | PCS |
4 | 金屬波紋管長(zhǎng) | 線長(zhǎng)3.5M | 1 | 條 |
5 | 送貨單 | 紙質(zhì)文檔 | 1 | 份 |
6 | DB15接頭 | 線長(zhǎng)20cm | 1 | 條 |
7 | 產(chǎn)品說(shuō)明書(shū) | 紙質(zhì)文檔 | 1 | 份 |
8 | 產(chǎn)品合格證 | 紙質(zhì)文檔 | 1 | 份 |
9 | 產(chǎn)品保修卡 | 紙質(zhì)文檔 | 1 | 份 |
10 | 產(chǎn)品質(zhì)檢報(bào)告 | 紙質(zhì)文檔 | 1 | 份 |
損耗清單 | ||||
序號(hào) | 名稱 | 型號(hào)和規(guī)格 | 數(shù)量 | 壽命時(shí)間 |
1 | 噴嘴 | / | 1 | 2300H |
2 | 電極 | / | 1 | 1800H |
3 | 皮帶 | / | 1 | 4800H |
4 | 碳刷 | / | 1 | 6000H |
注:耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系,以下壽命時(shí)間僅供參考。
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