一、等離子體介紹
1、產(chǎn)品原理
SPV-200真空等離子清洗機(jī)通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
2、行業(yè)應(yīng)用
二、產(chǎn)品介紹
1、產(chǎn)品概述
SPV-200真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner),氣體通過(guò)激勵(lì)電源離化成等離子態(tài),等離子體作用于產(chǎn)品表面,清洗產(chǎn)品表面污染物,提高表面活性,增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
2、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
(1)真空系統(tǒng)集成,占地面積小。
(2)便捷的收放板方式。
(3)低耗能、耗氣產(chǎn)品。
(4)水平電極設(shè)計(jì),可滿(mǎn)足軟性產(chǎn)品處理需求。
(5)集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),使操作更方便。
(6)合理的等離子反應(yīng)空間,使處理更均勻。
(7)產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。
3、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個(gè)部分:等離子體發(fā)生器、真空腔及真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。
(1)等離子體發(fā)生器
等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上,當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時(shí),產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象,放電后電路會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)值,保證電路正常穩(wěn)定放電。
(2)真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi),左右兩側(cè)為可拆門(mén),因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過(guò)濾器組成,核心部件真空泵(真空泵組)
(3)控制系統(tǒng)
本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏、西門(mén)子PLC、中文界面。設(shè)備的工藝流程控制:真空泵啟動(dòng)->擋板閥開(kāi)啟->達(dá)到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時(shí)間到破真空->工作完成。設(shè)備分自動(dòng)和手動(dòng)兩種方式。
4、產(chǎn)品規(guī)格
5、設(shè)備尺寸圖紙
(1)主機(jī)圖紙
2、等離子腔體圖紙
三、規(guī)格要求
1、廠務(wù)規(guī)格要求
2、配置清單
3、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
4、損耗清單
注:耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系,以上壽命時(shí)間僅供參考